高純度製品
当社では徹底した管理のもと99.999％(5N)以上の高品質・高純度のタングステンを生産しております。
クリーンルーム仕様現場
入口エアーシャワー
製造現場
用途
高純度である程、電気抵抗値が低く、熱や化学的に安定している特性を活かし半導体などの配線用スパッタリングのターゲット材や、電極材などに使用されています。
高純度タングステン粉
| グレード | Size （μm） |
化学成分 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| （%） | （ppm） | |||||||||
| Ｗ | O | Mo | C | Ca | Cr | Fe | P | Si | ||
| W-4N | 1.00～5.00 | ≧99.99 | ≦0.30 | ≦10 | ≦30 | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 |
| W-5N | 1.00～5.00 | ≧99.999 | ≦0.30 | ≦10 | ≦30 | ≦1 | ≦1 | ≦1 | ≦1 | ≦1 |
- W-4N成分保証：
- Al、As、Co、Cu、K、Mg、Mn、Na、Ni、Ti：各≦5ppm
- W-5N成分保証：
- Al、As、Co、Cu、Mg、Mn、Ni、Ti：各≦1ppm
Na、K：各≦0.5ppm
-
粒径写真
W-4Nの粒形写真
高純度三酸化タングステン粉
| グレード | 化学成分（ppm） | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C | Ca | Cr | Fe | Mo | P | Si | |
| WO3-4N | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 | ≦10 |
注意事項
- 1. Size(μm)：Sub Sieve Sizerによる平均粒度。